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激光干涉儀的原理和說明


             干涉儀是很廣泛的一類實驗技術的總稱,其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息,從而獲得實驗所關心的物理量。干涉儀并不僅僅局限于光干涉儀。干涉儀在天文學,光學,工程測量,海洋學,地震學,波譜分析,量子物理實驗,遙感,雷達等等精密測量領域都有廣泛應用。

激光干涉透射法檢測元件厚度差的原理

    在激光干涉儀進行透射測量時,激光光源發出的單色光,垂直向下經過被檢元件上、下兩表面被標準反射鏡反射后會形成干涉條紋,每個點上所生的干涉條紋取決于該點上兩相干的光的光程差。當光程差為nλ+0.5λ時,顯示為暗條紋;當光程差為nλ+λ時,顯示為亮條紋;所以,當被檢元件的兩個面不完全平行,存在楔角時,沿楔角方向,元件的厚度逐漸增大,相應的光程差也逐漸變大,沿楔角方向就會產生間隔分布亮暗條紋。楔角越大,條紋越密集。


檢測指標的簡單說明:

    PV值在數學上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即最大值和最小值的差值。單位是λ(波長)。對應到干涉儀透射檢測上,就是被檢元件的厚度差。 

    RMS值在數學上的定義是均方根值(root-mean-square),單位是λ(波長),這是一個統計值,RMS的大小反映了這些數據值的離散程度。對應到干涉儀透射檢測上,RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好,高低起伏越少。

    TTV值條紋根數是肉眼可見的被檢元件厚度差的直觀表現,與PV值成線性關系。條紋根數越少表明被檢元件的厚度差越小。

    POWER值是測量物體上的最亮或最暗值。


速德瑞自主研發生產的激光干涉儀GBM01AGBM08A為更多用戶提供了便利,使更多使用者可以快速并準確地檢測所需的數值;那么這兩款有哪些區別呢?請看以下對比參數:

序號

名稱

GBM01A

GBM08A

1

測量原理

菲索干涉原理

菲索干涉原理

2

激光器

半導體激光器 635nm

半導體激光器 635nm 940nm

3

有效孔徑

6.5mm

16.5mm (允許同時管控8個孔)

4

標準鏡面形精度

0.05λ

0.05λ

5

面形值重復精度

PV 0.06λ(標準片)

PV 0.06λ(標準片)

6

面形值量程

PV 0~3λ

PV 0~3λ

7

測試時間

PV測試:1秒;

條紋數測試:1秒內

PV測試:1秒;

條紋數測試:1秒內

8

夾具

9

軟件

PVmeter

PVmeter

10

電源

220V 60W

220V 60W

11

通訊接口

USB

USB

12

重量

25Kg

15Kg

13

自動化接口

預留

預留



速德瑞激光干涉儀不僅自主研發了儀器,而且使用軟件也是我們研發的哦,我們的檢測界面也是應有盡有,所要測的數據都經過算法直接得出來,而且還可以導出數據。

 





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